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β—FeSi相关论文
靶基距对脉冲激光沉积β-FeSi2薄膜质量的影响
常用的分子柬外延、粒子柬沉积法难以获得均匀、致密性好的单一相β-FeSi2薄膜,利用脉冲激光沉积及热退火处理法在P型Si(100)基片上制......
期刊
脉冲激光沉积
β—FeSi
薄膜
靶基距
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