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一维深亚波长光栅相关论文
一维深亚波长光栅的耦合波分析及偏振特性的研究
讨论了一种新的一维深亚波长光栅,其周期结构由等离子体增强化学气相淀积法(PECVD)制备的周期性多层膜构成。简单介绍了这种深亚波......
期刊
一维深亚波长光栅
严格耦合波分析
偏振特性
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