三层微梁相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

三层微梁相关论文

具有中空结构的多层圆截面微梁谐振器的热弹性阻尼机理与模型

微谐振器是MEMS器件类型之一,常用于生物医学、航空宇航、通讯信息等领域。品质因数（Quality factor）是评价微谐振器性能的关键参数,......

学位

微谐振器热弹性阻尼圆形截面双层微梁三层微梁

多层结构微梁微板谐振器的热弹性阻尼机理与模型

微机械谐振器件是工作在固有频率处的新型MEMS微器件。品质因数是这类器件性能好坏的关键指标。高品质因数意味着低能量损失、高灵......

学位

微机械谐振器热弹性阻尼品质因数双层微板三层微梁三层微板

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