三维感应线圈相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

三维感应线圈相关论文

基于MEMS技术的电压电流集成传感器研究

配电网的电压电流测量在电能计量、继电保护、智能设备控制等领域都有举足轻重的影响，是电力系统维护中的重要环节。智能配电网是智......

学位

电压电流集成传感器结构设计三维感应线圈非对称金属极板微加工工艺配电网

基于三维感应线圈的新型MEMS电流传感器

基于三维感应线圈,研制了一种新型微机电系统(MEMS)电流传感器。传感器以玻璃为衬底,以聚酰亚胺为支撑和绝缘材料,通过溅射、光刻......

期刊

电流传感器三维感应线圈微机电系统工艺

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