三靶共溅射相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

三靶共溅射相关论文

三靶共溅射纳米复合Cr-Al-Si-N涂层的制备及摩擦学性能研究

目的利用高功率脉冲磁控溅射技术离化率高、溅射离子能量高等优点,在Cr-Al-N涂层中添加Si元素研制a-Si3N4包裹nc-(Cr,Al)N的纳米复......

期刊

高功率脉冲磁控溅射脉冲直流磁控溅射三靶共溅射纳米复合涂层 Cr-Al-Si-N涂层 N2/Ar流量比临界载荷摩擦系数磨损率

看过本文同时还关注