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火焰水解淀积Si02膜的退火研究
本文采用火焰水解法在Si衬底上淀积了用于光波导下包层材料的SiO2膜,然后将其放入高温炉在空气中进行不同温度的退火处理。我们利用......
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波分复用系统
二氧化硅膜
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