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基于2-opt蚁群算法优化掩膜版缺陷点路径的应用研究
针对现有激光化学气相沉积设备在寻找掩膜版缺陷点时存在镜头移动行程长、镜头频繁失焦的问题,采用基于2-opt邻域搜索的蚁群算法来......
期刊
掩膜版
缺陷点
激光化学气相沉积
两元素邻域搜索
蚁群算法
路径优化
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