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两步溅射法制备纯铜型陶瓷覆铜板的研究
本文提出在氧化铝陶瓷基板上,采用两步溅射铜膜的方法来制备纯铜型陶瓷覆铜板,即先在低氩气压下高能溅射形成Cu氧化物过渡层,再利......
期刊
陶瓷覆铜板
两步溅射
封装材料
氧化铝
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