中科院光电所相关论文
介绍光刻技术分类及工作原理,国际国内光刻设备研究动态,国际国内差距,分析存在问题;讨论光刻设备涉及的关键技术:紫外和深紫外投影......
中科院光电所是国内较早从事激光共聚焦生物芯片扫描仪研制的单位,在中科院知识创新工程的大力支持下,经广大科研人员的协同努力,在相......