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中频孪生靶反应溅射相关论文
等离子体发射监控系统参与的中频孪生反应磁控溅射沉积TiO2薄膜的实验研究
在一个孪生靶实验装置上进行了中频反应磁控溅射沉积TiO2薄膜的工艺实验。得到了一组真实的反应溅射TiO2薄膜的沉积速率和真空与反......
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等离子体发射监控系统
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