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中高温热丝相关论文
HWCVD热丝对硅基薄膜沉积的影响
研究热丝化学气相沉积(HWCVD)中高温热丝对衬底温度的影响,热丝扫描电镜表面形貌和Auger谱表明了硅在钨丝表面的沉积,讨论了金属硅......
会议
热丝化学气相沉积
硅基
薄膜沉积
表面形貌
中高温热丝
温度的影响
金属硅化物
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薄膜性能
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衬底
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