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临界反应距离相关论文
基于临界反应距离的微细电化学高效加工大长径比微电极方法
随着产品精密化和小型化的快速发展,微结构广泛应用于MEMS、航空航天、电子通信、微型机械和微型模具等领域。微细工具电极作为微......
学位
临界反应距离
微细工具电极
微细电化学加工
大长径比
高效加工
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