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二元衍射光学元件相关论文
光纤激光诱导背面干法刻蚀制备二元衍射光学元件
为了降低激光直接辐照透明介电材料的表面加工粗糙度和激光能量密度刻蚀阈值,提高微光学元件的产出率,介绍了一种用固体介质作吸收......
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激光刻蚀
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二元衍射光学元件
能量密度阈值
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