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二次刻蚀相关论文
黑硅材料的制备及器件研究
黑硅是通过一定的处理方法在硅材料表面刻蚀出一定的微结构而形成的。相比于单晶硅,黑硅对可见光到近红外(250nm-2500nm)都具有很......
学位
黑硅
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玻璃纳流控芯片的制作及其应用研究
随着微流控芯片在生物、化学方面的迅速发展,纳流控芯片也越来越引起人们的关注。纳流控的基础和应用研究以纳流控芯片的研制为基......
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