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二次高温退火相关论文
4H-SiC中Al离子注入及其二次高温退火技术
在4H-SiC中进行Al离子注入,并进行了二次高温退火技术研究。样品中Al离子的注入浓度为3×10^19cm-3,对样品进行首次高温退火工......
期刊
4H-SiC
Al离子注入
二次高温退火
霍尔测试
二次离子质谱(SIMS)
空穴浓度
激活率
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