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二维面探测器XRD相关论文
退火温度对铝互连线热应力的影响
本文采用二维面探测器XRD测量1um及0.5um厚AL互连线退火前后的残余应力.沉积态AL线均为拉应力,且随膜厚的增加而减小.沿长度方向的......
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退火温度
退火温度对铝互连线热应力的影响
采用二维面探测器X射线衍射(XRD)测量1μm和0.5μm厚Al互连线退火前后的残余应力.沉积态Al线均为拉应力,且随膜厚的增加而减小.沿......
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