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亚稳态氖原子束相关论文
亚稳态氖原子光刻的实验研究
用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验.用栅网作掩膜,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态氖原子作用下所生成的碳膜作抗蚀剂,在硅片......
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