本文拟扩展测量薄膜(厚度为几十微米以上)热扩散率的周期热流法的功能,用它来测量极薄膜的热扩散率.在微细加工飞速发展的今天,有......

应用交流光热法测量薄膜材料的热扩散度，测量范围为１０＾－７～１０＾－３ｍ＾２／ｓ。对于不同热扩散率的材料样品，在测量中会产生不同类别的系统性误差，如二维效应、......