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介电函数特性相关论文
低温结晶硅薄膜的电感耦合等离子体化学气相沉积
在半导体材料领域,结晶Si薄膜的低温生长引起了人们的广泛关注,一方面是因为它们在大面积微电子、光电子和光子器件的实际应用以及......
学位
半导体材料
Si薄膜
薄膜生长
介电函数特性
微结构特征
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