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仿壁虎微阵列相关论文
基于仿生微阵列的晶圆传输面接触特性研究
集成电路(IC)产业是关系到国家经济和国防安全的重要支柱产业,晶圆传输系统作为IC产业中必不可少的IC制造装备,对IC产业的生产效率起着......
学位
晶圆传输机器人
仿壁虎微阵列
硅橡胶传输面
接触特性
粘附性能
传输效率
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