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位置敏感探测元件相关论文
使用位置敏感探测器的精密倾斜平台及倾斜角度控制方法
设计了一种压电陶瓷驱动的精密倾斜平台及其倾斜角度控制方法,实现了高精度倾斜控制.该控制系统主要由主控制器、位移探测模块、数......
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