低g值微惯性开关相关论文
低g值微惯性开关是一种感受惯性加速度、执行开关机械动作的精密惯性装置.为了解决开关芯片在清洗干燥过程中的粘连问题,提高器件......
选用典型的＂弹簧-质量＂系统,基于平面矩形螺旋梁结构,研制了一种具有良好单向敏感性的低g值微惯性开关。采用ANSYS有限元软件,对惯性......
以弹性材料单晶硅为结构材料，研制了一种基于平面矩形螺旋梁的低g值（1g～30g）微惯性开关．根据材料力学中的卡氏定理和线弹性理论，推导得到......
采用双埋层SOI（Silicon-On-Insulator）材料,结合KOH腐蚀工艺、电感耦合等离子体（ICP）刻蚀工艺、阳极键合以及喷雾式涂胶工艺,研制了一......
