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低压传热相关论文
工艺腔室温度场轮廓特性分析及传热结构设计
反应腔室晶片表面温度分布是影响薄膜沉积均匀性的重要因素。本文以载有晶片的典型化学气相沉积反应腔室为研究对象,考虑了晶片与......
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工艺腔室
低压传热
温度轮廓
结构设计
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