低温磁控溅射相关论文
纳米技术在纺织上有着许多重要的应用。文章阐述了纳米、纳米结构、纳米功能薄膜材料等概念，重点评述了纳米金属氧化物光电功能薄膜......
研究了在低温磁控溅射沉积TiN薄膜过程中，基体表面粗糙度对成膜过程以及摩擦学性能的影响．研究结果表明，低温磁控溅射沉积处理一般不......
采用低温磁控溅射和普通多弧离子镀分别在冷作模具钢基体上制备了TiN薄膜，用纳米压痕法测量了薄膜的表面硬度，并比较了低温磁控溅射......
