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低能量大剂量He~+离子注入相关论文
电导调制器件局域寿命控制技术
电导调制型功率器件,如绝缘栅双极型晶体管(IGBT,Insulated Gate Bipolar Transistor)是现代电力电子电路中常采用的关键器件。这类器......
学位
电导调制
局域寿命控制
低能量大剂量He~+离子注入
IGBT
正向安全工作区
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