侧墙技术相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

侧墙技术相关论文

二维硅纳米模具的制作工艺研究

本论文基于侧墙技术,确定了薄膜制备工艺和薄膜材料的选择标准,选择了溅射和溅射刻蚀工艺制备金侧墙。最终结合标准紫外光刻、具有......

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侧墙技术二维硅纳米模具溅射溅射刻蚀深反应离子刻蚀

基于侧墙工艺的纳机电结构并行加工技术研究

本论文开展了基于侧墙工艺的纳机电结构并行加工技术研究。伴随着微电子工业发展到纳米尺度,纳米加工越来越多地依赖于昂贵的光刻......

学位

侧墙技术纳机电梁纳米针尖阵列纳米表征

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