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硅纳米线制备技术、器件特性及生物传感应用研究
本论文针对集成电路发展面临的挑战,探索了增强栅控特性的新器件结构技术方案,包括:开发了扇贝形S-FinFET,GAA Si NW和堆叠GAA Si ......
学位
硅纳米线
侧墙转移
鳍形场效应晶体管
环栅
堆叠纳米线
生物传感器
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