一种新型变电容面积MEMS惯性传感器与传统的梳齿电容传感器相比,具有对梳齿电容不平行敏感度低,可加测试电压高等优点.通过对该传......

一种新型变电容面积MEMS惯性传感器与传统的梳齿电容传感器相比，具有对梳齿电容不平行敏感度低，可加测试电压高等优点。通过对该传感......

DRIE（Deep Reactive Ion Etching）工艺加工的高深宽比梳齿电容不能保证绝对平行．本文在考虑低真空空气阻尼力的同时，研究了梳齿电容倾......