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偏压加强MPCVD法Ir(100)/MgO(100)基片上金刚石异质外延形核
利用自行研制的可调谐圆柱谐振腔式微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置的结构优势,设计了电极可调节的偏压加强MPCVD装置。采用脉......
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金刚石
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化学气相沉积
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偏压加强
diamond heteroepitaxy chemical vapor deposition m
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