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偏压磁控溅射相关论文
几种功能薄膜材料的离子束表面改性
离子与固体的作用可形成新的固态表面结构,探索离子束辅助薄膜沉积或功能薄膜的外延生长、超硬材料表面改性以及表面原子键、相成......
学位
表面态结构
离子-原子碰撞
金刚石表面改性
偏压磁控溅射
氮化碳与氮化钛薄膜
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