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光刻设备的分辨率越来越高,以满足集成电路特征尺寸不断缩小的要求。根据瑞利判据,可以通过缩小曝光波长和工艺因子、增大数值孔径来......
本文分析了偏振光在照明系统中的实现过程,阐述了偏振照明的设计理念,讨论了偏振照明系统及检测装置的设计思路,从而实现了偏振光......