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偶次缺级编码相关论文
偶次缺级编码二值相位光栅设计与制作研究
偶次缺级编码型二值相位光栅是一种偶次衍射级相互抵消的特殊的光学分束器件,所得光束阵列为偶数,具有衍射效率高、且阵列光强度均......
学位
光学分束器件
偶次缺级编码
相位光栅
电子束直接曝光
反应离子刻蚀
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