光刻显影剂相关硕士博士期刊学术论文

四甲基氢氧化铵(TMAH)是一种强的有机碱,无色、无臭,在室温下蒸汽压也低,在135-140℃完全气化,高纯品在140℃低温处理也无微量残渣......