光学发射光谱相关论文
脉冲激光沉积(Pulsed Laser Deposition,PLD)技术因其工艺参数可自由调节、易获得期望化学计量比材料等特点,广泛应用于复杂氧化物异......
本文研究了空气中多针对板直流电晕放电中NOx的产生规律.测量了停留时间、放电极性、放电功率和相对湿度对NOx产生量的影响.结果表明......
原位光学发射光谱仪(OES)已经成为等离子体刻蚀工艺控制过程中的一种非常有潜力的在线传感器系统。采用光谱仪实时采集高密度等离......
针对微空心阴极放电(MHCD)装置,通过在氩气中添加少量氮气,分析氮分子第一正带系N2(B3∏gA3+u)发射光谱的方法测量了MHCD中的气体......
针板式直流电晕放电在污染物去除上具有能耗低、去除率高等特点,有实用价值。针板式直流电晕放电在活性物种诊断方面的研究较少,目......
针对微空心阴极放电(MHCD)装置,通过在氩气中添加少量氮气,分析氮分子第一正带系N2(B3ΠgA3+u)发射光谱的方法测量了MHCD中的气体温度,通过......
为在高气压下形成大体积均匀等离子体,将微空心阴极放电(MHCD)作为等离子体阴极,引入另一阳极而设计为微空心阴极维持放电(MCSD)的发生......
<正> 我们用光学发射光谱(OES)测量法研究了激光等离子体化学气相淀积(LPCVD)条件下SiH_4分解产物的光谱特性。一、引言目前国内外......
原位光学发射光谱仪(OES)已经成为等离子体刻蚀工艺控制过程中的一种非常有潜力的在线传感器系统。采用光谱仪实时采集高密度等离子......
针对微腔放电(MCD)装置,采用光学发射光谱的方法,通过在氩气中添加少量氮气,分析氮分子第一正带系和氮分子离子第一负带系测量了MCD中的......
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等离子-物理气相沉积(PS-PVD)是制备高温防护涂层和功能涂层的一种新方法,既可涵盖等离子喷涂和电子束物理气相沉积工艺,还可实现......
本论文对针-板式直流电晕放电电极间距进行优化,修正推导伏安关系式,并使用光学发射光谱进行电晕放电微观特性研究;将电晕放电与TiO2......
等离子喷涂-物理气相沉积(PS-PVD)作为一种新型喷涂技术融合了气相沉积与喷涂工艺两者的优点,其射流特性决定了涂层的结构与性能。......