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光晶极值法相关论文
薄膜厚度测控技术中的物理原理
针对当前应用较为广泛的各种薄膜厚度测控技术,简明介绍了光电极值法、干涉法、石英晶体振荡法及椭偏仪法的物理原理及其应用.......
期刊
膜厚测控
干涉法
石英晶体振荡法
椭偏仪法
光晶极值法
薄膜技术
measuring and controlling thin film thickness
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