光束平行性相关论文
基于传统的五棱镜扫描法和图像处理法设计了一台通用检测装置,该装置可以快速准确地检测口径1m以下的平行光管出射光平行性.详细分......
近年来,激光干涉测量技术在科学研究和工业生产中得到了广泛应用,具有多轴测量能力的激光干涉仪是光刻机等超精密加工装备中的核......
针对高精度光束平行性检测中存在的问题,提出了一种新的检测方法,并且成功地实现了大口径高精度空间光束秤行性的检测,测量误差小于1秒......
主要以焦距7500mm、口径750mm的大型牛顿式平行光管的装调与标定方法为研究对象。该平行光管作为某空间光学系统的检测与标定基准,......
近年来,激光干涉测量技术由于具有精度高、速度快和测量范围大等优势,在科学研究和工业生产之中广泛应用,尤其是具有多轴测量能力......