光波干涉法相关论文
摘 要：平晶是以光波干涉法测量平面的平面度、直线度、研合性以及平行度的计量器具。常用的平晶有平面平晶及平行平晶两种。 关......
<正> 前言 光波干涉法是直接测量中精度最高的方法,常用于尺寸不太大、表面粗糙度要求很高的量具或工件表面的平面度误差(简称平面......
光波干涉法是目前计量领域一种不可或缺的技术手段,具有测量精度高、适用范围广、操作简便等优点.基于此,本文分析了光波干涉法在......
0引言几何量测量泛指与长度国际单位制（SI）米（m）有关的一切量，包括端度、量仪、角度平度、粗糙度、工程测量等。而狭义的长度计量是指距......
