光纤MEMS法珀腔相关硕士博士期刊学术论文

光纤MEMS法珀传感器，既具有光纤传感技术精度高，带宽大，抗电磁干扰能力强等优点，又具备了MEMS工艺体积小，易批量生产的优势，在工业，农业，军......