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光针轮廓仪伺服机构设计与聚焦误差信号的改进
应用线切割方法设计了光针轮廓仪伺服机构-音圈电机的结构,使其具有更好的静动态特性和焦点自动跟踪能力.通过改善传统的聚焦误差......
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计量学
光针轮廓仪
线切割方法
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