六氯二硅烷相关论文
多晶硅残液中的六氯二硅烷具有高附加值,国外已开展相关研究,而国内这方面研究仍处于空白阶段。对此,本文提出了一种从多晶硅氯硅......
目前，国内多晶硅行业在生产过程中，冷氢化尾气急冷工序与精馏工序、合成尾气精馏工序、还原尾气精馏工序中都会不可避免产生部分氯硅......
