准分子激光退火相关论文
表面等离子体技术在太阳能电池和LED等新型光电转换器件中具有十分重要的应用前景。与传统的光电转换器相比，在薄膜太阳能电池中引......
本文研究了LDD结构低温多晶硅(LTPS)CMOS的薄膜晶体管的相关制程,其经过准分子激光退火之后的多晶硅的晶粒大小约为0.30um.分析了N......
利用Kr F准分子激光器晶化非晶硅薄膜,研究了不同的激光能量密度和脉冲次数对非晶硅薄膜晶化效果的影响。利用X射线衍射(XRD)和扫......
介绍了多晶硅薄膜较非晶硅薄膜在平板显示领域的优势以及准分子激光晶化制备多晶硅膜的结晶过程。介绍了透镜阵列实现匀光的原理。......
本文对于P型准分子激光结晶(Excimer Laser Annealing,ELA)多晶硅薄膜晶体管(Thin Filml Transistor,TFT)和非晶铟镓锌氧化物(a-IG......
在有源矩阵液晶显示器和有源矩阵有机发光二极管显示器的工业化生产中,采用准分子激光退火技术制备多晶硅薄膜,以提高产品性能。设......
利用准分子激光退火(ELA)工艺制备多晶硅薄膜晶体管,多晶硅薄膜材料的形成受到激光能量密度的影响,包括缺陷的形成、少子的寿命以......
