准弹道输运相关论文
随着微电子技术的快速发展，器件的特征尺寸在不断缩小。当器件的尺寸进入纳米尺度以后，一些新的物理效应，如准弹道输运、量子隧穿输运......
随着硅基金属.氧化物一半导体场效应晶体管(MOSFET)沟道长度减小至30纳米[1]以下,沟道长度已经逐渐和载流子平均自由程相比拟,载流......
32nm及其以下技术节点的发展需要从器件结构、加工技术以及材料选用等各个方面进行创新,其中金属栅/高k栅介质的新型栅结构,以应变......
实验测量和理论模拟结果都表明,当器件沟道长度减小到某一长度后,载流子输运机制将从漂移扩散向准弹道甚至弹道输运过渡,而器件中......
