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嵌入薄膜微传感器测量切削力刀具的设计及试验研究
传统的应变式测力仪已经无法满足机械加工中对加工精度日益增长的需求,同时薄膜技术的发展又为微传感器的制备提供了条件,因而,薄......
学位
薄膜传感器
输出特性
刀具结构优化
薄膜制备工艺
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