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分层溅射相关论文
分层溅射法制备晶向可控的Mg2Si薄膜
采用分层溅射法在石英衬底上制备了结晶良好的Mg2Si多晶薄膜.当Si膜的溅射时间均为25min、Mg膜的溅射时间为18~22 min、退火温度为3......
期刊
Mg2Si
薄膜
分层溅射
晶向可控
石英衬底
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