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SAW器件芯片底部处理的工艺实验研究
介绍声表器件中几种体波模型,讨论什么传播方式的体波可以通过底部处理得到抑制或消除,同时对底部处理的工艺特别是打毛和刻沟槽两......
期刊
声表面波
体声波
打毛
刻沟槽
抑制
SAW器件
芯片底部处理
SAW BAW sand blastinggroovingsuppress
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