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单晶炉自动控制系统的设计
在单晶硅生产过程中,硅片的直径大小和晶体生长过程的自动化程度,对生产效率和产品质量有很大的影响。为此,本课题以TDR-120型单晶......
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单晶炉
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热场仿真
拉晶工艺
前馈补偿解偶
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