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平面线圈型时栅传感器及动尺姿态误差特性分析
根据时栅传感器测量原理,提出一种利用平面线圈代替齿槽绕线方式的直线时栅位移传感器以提高位移测量精度。该传感器通过定尺上的......
期刊
时栅传感器
误差特性分析
动尺姿态
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