动态掩模光刻系统相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

动态掩模光刻系统相关论文

基于DMD无掩模数字光刻机的研究与设计

无掩模光刻技术是光刻技术重要的发展方向之一,在制作掩模图形过程中,不需要制作昂贵的光掩模,只需通过计算机生成相应的掩模图形,......

学位

动态掩模光刻系统光学设计大面积曝光实时控制系统误差分析

DMD投影光刻系统的开发设计及其在光刻、液晶光控取向方面的应用

本工作基于光学像差理论和光学设计方法,设计开发了一套基于数字微透镜元件(DMD)的动态掩模投影式光刻系统,并在光刻胶上进行曝光......

学位

动态掩模光刻系统光学设计液晶取向自成像效应

看过本文同时还关注