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对磷酸－硝酸－醋酸溶液、磷酸－硫酸－硝酸溶液、改型的磷酸－硫酸－硝酸溶液抛光处理工艺与磷酸基抛光液的管理作了全面的阐述。......
<正> 一、概述我们知道在六十年代出现的半导体集成电路,是与半导体工艺的发展紧密联系的,其中最重要的是硅平面工艺的发展。硅平......
