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化学机械微细磨削相关论文
化学机械微磨具的研制及其微细磨削性能研究
硅基硬脆材料微小零件在航空航天、生物工程、微电子工业等尖端行业的应用及需求急剧扩大,同时对该类微小零件的功能结构、表面质......
学位
单晶硅
化学机械微细磨削
微磨具
磨削性能
材料去除机理
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